ВИРИС

Свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ № 2025697968 от 29.12.2025

ВИРИС – программное обеспечение (ПО), разработанное для численного моделирования технологических процессов, которые используются в промышленном производстве различных полупроводниковых приборов, включая процессы эпитаксиального роста, химического осаждения при пониженном давлении и атомно-слоевое осаждение.

Данный продукт предоставляет информацию о различных физических процессах, происходящих внутри камеры реактора, включая пространственное распределение и временную эволюцию температуры, тепловых потоков, концентрации химически активных газовых компонентов, скорости осаждения и других параметров в камере реактора; предоставляет широкие возможности для исследования основных явлений, лежащих в основе процессов осаждения.

Это делает ВИРИС мощным инструментом для параметрического анализа и оптимизации условий технологического процесса для различных материалов в типовых реакторах с одной пластиной и в конструкциях реакторов, предназначенных для групповой обработки пластин.

Цена годовой однопользовательской лицензии составляет 2 100 тыс. рублей (цена указана без учета НДС).

Скидки на программное обеспечение предоставляются при соблюдении одного из условий:
• срок действия лицензии — 2 года и более;
• при единовременной покупке двух и более лицензий;
• приобретение лицензии учебным заведением для использования ПО в образовательных целях.